发明名称 COMPOSITE PIEZOELECTRIC ACTUATOR
摘要
申请公布号 JPH02154486(A) 申请公布日期 1990.06.13
申请号 JP19880307766 申请日期 1988.12.07
申请人 TOKIN CORP 发明人 SATO HIROFUMI
分类号 H01L41/083;H01L41/09 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
主权项
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