| 发明名称 |
TITAMIUM NITRIDE SPUTTER TARGETS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0291278(A3) |
申请公布日期 |
1990.06.13 |
| 申请号 |
EP19880304229 |
申请日期 |
1988.05.10 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES, INC. |
发明人 |
BRAT, THEODORO E.;WICKERSHAM, CHARLES E. |
| 分类号 |
C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34;C04B35/58;C23C14/06 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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