发明名称 AUTOMATED DESIGNING OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02154446(A) 申请公布日期 1990.06.13
申请号 JP19880308032 申请日期 1988.12.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YAGISHITA CHO
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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