发明名称
摘要
申请公布号 JPH0276842(U) 申请公布日期 1990.06.13
申请号 JP19880156206U 申请日期 1988.11.30
申请人 发明人
分类号 B65H1/28;B65G1/00;B65G1/02;B65G1/07;B65G1/14;B65G57/00;B65H31/26;H01L21/205;H01L21/673;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65H1/28
代理机构 代理人
主权项
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