| 发明名称 |
METHOD OF FORMING A LARGE SURFACE AREA INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0136534(B1) |
申请公布日期 |
1990.06.13 |
| 申请号 |
EP19840110227 |
申请日期 |
1984.08.28 |
| 申请人 |
ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. |
发明人 |
VIJAN, MEERA |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/30;B05C5/00;G03F7/16;H01L21/027;H05K1/00;H05K3/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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