发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02153534(A) |
申请公布日期 |
1990.06.13 |
申请号 |
JP19880306900 |
申请日期 |
1988.12.06 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
NAKAJIMA HIROOMI;YAMAGUCHI TOSHIO;ITO NOBUYUKI;TSUKIOKA HIDEAKI;NIHEI HIROYUKI;TAKADA HIDEKI;KATSUMATA YASUHIRO;HIRAKAWA KENJI;KO TATSUICHI |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/033;H01L21/225;H01L21/285;H01L21/331;H01L29/732 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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