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发明名称 METHOD FOR FORMING PATTERN BY USING GRAFT COPOLYMERIZATION
摘要
申请公布号 EP0295457(A3) 申请公布日期 1990.06.13
申请号 EP19880108157 申请日期 1988.05.20
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 MOCHIJI, KOZO;OIZUMI, HIROAKI;SODA, YASUNARI;KIMURA, TAKESHI
分类号 G03F7/027;G03F7/38;H05K3/00;(IPC1-7):G03F7/02;H05K3/10;H05K3/02;H01L29/12 主分类号 G03F7/027
代理机构 代理人
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