发明名称 AMMONIUMFLUORID ENTHALTENDE AETZLOESUNGEN.
摘要
申请公布号 DE278628(T1) 申请公布日期 1990.06.13
申请号 DE19880300653T 申请日期 1988.01.27
申请人 OLIN CORP., CHESHIRE, CONN., US 发明人 SCARDERA, MICHAEL, HAMDEN CONNECTICUT 06517, US;ROCHE, THOMAS STEPHEN, CHESHIRE CONNECTICUT 06410, US
分类号 C09K13/08;H01L21/311;(IPC1-7):C09K13/08;H01L21/31 主分类号 C09K13/08
代理机构 代理人
主权项
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