PROCEDE DE FABRICATION D'UN CAPTEUR DE DETECTION DE GAZ, CAPTEUR EN RESULTANT

摘要

L'invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur de détection de traces ou d'impuretés gazeuses selon lequel on procède à l'évaporation sous pression partielle d'oxygène d'étain ou d'oxyde d'étain pour condenser les vapeurs sur un substrat électriquement isolant et y déposer une couche poreuse. L'évaporation de l'oxyde métallique ou du métal est réalisée sous une pression supérieure à 130 Pascals dans un courant gazeux comprenant de l'oxygène et un gaz neutre, la pression partielle de l'oxygène dans ce mélange étant au plus égale à 130 Pascals.