发明名称 ALIGNMENT METHOD
摘要
申请公布号 JPH02150013(A) 申请公布日期 1990.06.08
申请号 JP19880303656 申请日期 1988.11.30
申请人 SONY CORP 发明人 KURIHARA SHINTARO;KITAGAWA TETSUYA
分类号 G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/82;H01L27/118 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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