发明名称 PROCESS FOR PRODUCING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 HK41690(A) 申请公布日期 1990.06.08
申请号 HK19900000416 申请日期 1990.05.31
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 SATOSHI KUDO
分类号 H01L21/331;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/761;H01L21/8228;H01L27/082;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L29/72 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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