发明名称 |
METHOD OF DRY ETCHING ALUMINUM AND ALUMINUM ALLOY |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02150027(A) |
申请公布日期 |
1990.06.08 |
申请号 |
JP19880304637 |
申请日期 |
1988.12.01 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
MURAGUCHI TOSHIYA;HORIOKA KEIJI;OKANO HARUO |
分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23F4/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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