发明名称 CENTRIFUGAL DRYING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02150028(A) 申请公布日期 1990.06.08
申请号 JP19880303604 申请日期 1988.11.30
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUWAKA ATSUJI
分类号 F26B5/08;H01L21/304 主分类号 F26B5/08
代理机构 代理人
主权项
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