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经营范围
发明名称
TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH02148842(A)
申请公布日期
1990.06.07
申请号
JP19880302612
申请日期
1988.11.30
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
USHIKAWA HARUNORI
分类号
C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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