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发明名称 PROCESS FOR MAKING SEMICONDUCTOR DEVICES WHICH INVOLVE GASEOUS ETCHING
摘要
申请公布号 EP0221103(B1) 申请公布日期 1990.06.06
申请号 EP19860902623 申请日期 1986.03.27
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 IBBOTSON, DALE, EDWARD;TU, CHARLES, WUCHING
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/338;H01L27/06;H01L27/092;H01L27/095;H01L29/778;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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