SPUTTERING TARGET,申请号JP19880299439-传众专利搜索

发明名称	SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号	JPH02145764(A)	申请公布日期	1990.06.05
申请号	JP19880299439	申请日期	1988.11.29
申请人	TOKIN CORP	发明人	HOSHI HEIKI;NAGAYAMA YUKIO
分类号	C23C14/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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