发明名称 TESTING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH02145980(A) 申请公布日期 1990.06.05
申请号 JP19880299127 申请日期 1988.11.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NOGUCHI TERUO
分类号 G01R31/26;H03M1/10 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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