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发明名称 MANUFACTURE OF SUBSTRATE FOR MANAGING PARTICLE AND MANAGEMENT OF PARTICLE
摘要
申请公布号 JPH02145945(A) 申请公布日期 1990.06.05
申请号 JP19890211628 申请日期 1989.08.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 MITSUI AKIRA
分类号 G01N21/84;G01N1/28;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/84
代理机构 代理人
主权项
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