Etching method and etching apparatus,申请号US19880287156-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Etching method and etching apparatus
摘要
申请公布号	US4931135(A)	申请公布日期	1990.06.05
申请号	US19880287156	申请日期	1988.12.21
申请人	TOKYO ELECTRON LIMITED	发明人	HORIUCHI, TAKAO;ARAI, IZUMI;TAHARA, YOSHIFUMI
分类号	H01J37/32;H01L21/00	主分类号	H01J37/32
代理机构		代理人
主权项
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