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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR LASER BEAM SCAN CONTROL
摘要
申请公布号 JPH02146515(A) 申请公布日期 1990.06.05
申请号 JP19880299598 申请日期 1988.11.29
申请人 HITACHI LTD;HITACHI PROCESS COMPUT ENG INC 发明人 IGARI KUNIYUKI;AZUSAZAWA NOBORU;HASHIMOTO TADAHIKO;TACHIKAWA MAKOTO;KATSUYAMA ICHIRO
分类号 G02B26/10;G02F1/13;G09G3/02;G09G3/20 主分类号 G02B26/10
代理机构 代理人
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