| 发明名称 |
MICROWAVE PLASMA PROCESSING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02144913(A) |
申请公布日期 |
1990.06.04 |
| 申请号 |
JP19880298126 |
申请日期 |
1988.11.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
AZUMA HIDEAKI;KUNO ATSUSHI |
| 分类号 |
H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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