发明名称 FORMATION OF MULTIPLE OXIDE SUPERCONDUCTIVE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02145404(A) 申请公布日期 1990.06.04
申请号 JP19880296577 申请日期 1988.11.24
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 HIGAKI KENJIRO;ITOZAKI HIDEO;YATSU SHUJI
分类号 C01B13/14;C01G1/00;C01G15/00;C01G29/00;C23C14/08;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
主权项
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