发明名称 |
FORMATION OF MULTIPLE OXIDE SUPERCONDUCTIVE THIN FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02145404(A) |
申请公布日期 |
1990.06.04 |
申请号 |
JP19880296577 |
申请日期 |
1988.11.24 |
申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
HIGAKI KENJIRO;ITOZAKI HIDEO;YATSU SHUJI |
分类号 |
C01B13/14;C01G1/00;C01G15/00;C01G29/00;C23C14/08;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C01B13/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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