发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02144842(A) 申请公布日期 1990.06.04
申请号 JP19880298110 申请日期 1988.11.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 MAMADA MICHIRO;DOI HIROSHI
分类号 H01J37/317;H01L21/265;H01L27/10 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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