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发明名称 PLASMA EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH02143424(A) 申请公布日期 1990.06.01
申请号 JP19880296443 申请日期 1988.11.24
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 IMAFUKU KOSUKE
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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