| 发明名称 |
APPAREIL POUR LE TRANSFERT HORIZONTAL DE PLAQUETTES DE SILICIUM NOTAMMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2624839(B1) |
申请公布日期 |
1990.06.01 |
| 申请号 |
FR19870018454 |
申请日期 |
1987.12.22 |
| 申请人 |
RECIF SA |
发明人 |
BERNARD POLI;GERARD CHINCHOLLE |
| 分类号 |
H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/08 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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