SEMICONDUCTOR ELEMENT MANUFACTURING DEVICE,申请号JP19880297736-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	SEMICONDUCTOR ELEMENT MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH02143512(A)	申请公布日期	1990.06.01
申请号	JP19880297736	申请日期	1988.11.25
申请人	TOSHIBA CORP	发明人	IMAYAMA KAZUO
分类号	H01L21/02	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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