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发明名称 Beam stabilization of a scanning electron microscope
摘要
申请公布号 GB2225450(A) 申请公布日期 1990.05.30
申请号 GB19880022944 申请日期 1988.09.30
申请人 * SHELL INTERNATIONALE RESEARCH MAATSCHAPPIJ BV 发明人 THEODOOR WOUTER * FENS
分类号 H01J37/26;H01J37/28 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
主权项
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