发明名称 Process for using an electron beam measuring apparatus.
摘要 <p>In modernen Elektronenstrahlmeßgeräten wird die thermische La/B6 bzw. Feldemissionsquelle durch einen mit einem gepulsten Laserstrahl beaufschlagte Photokathode ersetzt. Da die Breite der Photoelektronenimpulse etwa der Breite der Laserimpulse entspricht, sind diese Geräte insbesondere für stroboskopische Messungen in schnellen Gallium-Arsenid-Schaltungen geeignet. Der apparative Aufwand zur Erzeugung der Photoelektronenimpulse ist allerdings beträchtlich, da Mittel zur Verdoppelung der Frequenz des primären Laserlichtes erforderlich sind. Es wird deshalb vorgeschlagen, die Kathode des Elektronenstrahlmeßgerätes mit Photonen der Energie EPh&lt;W (W:= Elektronenaustrittsarbeit des Kathodenmaterials) zu bestrahlen und die Austrittsarbeit mit Hilfe eines äußeren elektrischen Feldes soweit zu reduzieren, daß Photoemission, aber noch keine Feldemission einsetzt.</p>
申请公布号 EP0370196(A2) 申请公布日期 1990.05.30
申请号 EP19890117574 申请日期 1989.09.22
申请人 ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH 发明人 FEUERBAUM, HANS-PETER, DR.;FROSIEN, JURGEN, DR.
分类号 H01J37/06;H01J37/073 主分类号 H01J37/06
代理机构 代理人
主权项
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