发明名称 Two-shaft vacuum pump and method of operation.
摘要 <p>Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Betrieb einer Zweiwellenvakuumpumpe (1) mit zwei in einem Schöpfraum synchron und berührungsfrei rotierenden, jeweils mit einem Vorsprung (38) und einer Aussparung (39) versehenen Rotoren (4, 5; 6, 7; 8, 9), von denen der eine eine Einlaßöffnung (32, 35) und der andere eine Auslaßöffnung (33, 37, 42) steuert; außerdem bezieht sich die Erfindung auf eine für die Durchführung des Verfahrens geeignete Zweiwellenvakuumpumpe; um in eine Zweiwellenvakuumpumpe dieser Art auch während des Betriebs Spülgas einlassen zu können, wird vorgeschlagen, in das jeweils sich verkleinernde Schöpfvolumen Spülgas über eine Mündung (45) einzulassen, die vom auslaßseitigen Rotor derart gesteuert wird, daß das jeweilige Schöpfvolumen im Moment der Zufuhr des Spülgases sowohl zur Einlaßöffnung (35) als auch zur Auslaßöffnung (42) hin abgeschlossen ist.</p>
申请公布号 EP0370117(A1) 申请公布日期 1990.05.30
申请号 EP19880117650 申请日期 1988.10.24
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BERGES, HANNS-PETER, DR.;LEIER, WOLFGANG
分类号 F04C29/00;F04C25/02 主分类号 F04C29/00
代理机构 代理人
主权项
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