| 发明名称 |
PROCESS FOR DEPOSITING A POLYSILICON FILM ON A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2193976(B) |
申请公布日期 |
1990.05.30 |
| 申请号 |
GB19860006784 |
申请日期 |
1986.03.19 |
| 申请人 |
THE * GENERAL ELECTRIC COMPANY P L C |
发明人 |
DOUGLAS BOYD * MEAKIN;NIKOLAOS ALKIVIADIS * ECONOMOU |
| 分类号 |
H01L21/205;C03C17/22;C23C16/24;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/28;H01L21/285 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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