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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02140928(A) 申请公布日期 1990.05.30
申请号 JP19880295693 申请日期 1988.11.21
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YOSHIKI JUN
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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