发明名称 PRODUCTION OF THIN SUPERCONDUCTING FILM OF MULTIPLE OXIDE
摘要
申请公布号 JPH02141568(A) 申请公布日期 1990.05.30
申请号 JP19880293925 申请日期 1988.11.21
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 MUROI MICHITO;KOINUMA YUJI;MATSUI TOSHIYUKI;TSUDA KOICHI;KOE KAZUO
分类号 C01G3/00;C01G1/00;C23C14/08;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C01G3/00
代理机构 代理人
主权项
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