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发明名称 AQUEOUS DEVELOPER SOLUTION FOR POSITIVELY ACTING PHOTORESISTS
摘要
申请公布号 EP0355015(A3) 申请公布日期 1990.05.30
申请号 EP19890114813 申请日期 1989.08.10
申请人 BASF AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SCHWALM, REINHOLD, DR.;BINDER, HORST
分类号 G03F7/32;(IPC1-7):G03F7/32 主分类号 G03F7/32
代理机构 代理人
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