发明名称
摘要
申请公布号 JPH0270430(U) 申请公布日期 1990.05.29
申请号 JP19880149465U 申请日期 1988.11.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/8249;H01L21/265;H01L21/266;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/266 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
主权项
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