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发明名称 BEAM SCANNING METHOD USING TABLE
摘要
申请公布号 JPH02139844(A) 申请公布日期 1990.05.29
申请号 JP19880294232 申请日期 1988.11.21
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 TERAGAKI TAKURO
分类号 H01J37/248;H01J37/147 主分类号 H01J37/248
代理机构 代理人
主权项
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