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发明名称 APPARATUS FOR HEATING EXTRA-HIGH PURITY WATER
摘要
申请公布号 JPH02139082(A) 申请公布日期 1990.05.29
申请号 JP19880291613 申请日期 1988.11.18
申请人 NEC CORP 发明人 YANAI MASAHARU
分类号 C02F1/00;H01L21/304 主分类号 C02F1/00
代理机构 代理人
主权项
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