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发明名称 ETCHING SOLUTION OF ZNSE SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH02137800(A) 申请公布日期 1990.05.28
申请号 JP19880288660 申请日期 1988.11.15
申请人 NIPPON SHEET GLASS CO LTD 发明人 KOYAMA TADASHI;UEDA KAZUHIRO
分类号 C30B29/48;C30B33/10;H01L21/308 主分类号 C30B29/48
代理机构 代理人
主权项
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