发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CAPACITOR THROUGH MOS TECHNIQUE
摘要
申请公布号 JPH02138769(A) 申请公布日期 1990.05.28
申请号 JP19880324719 申请日期 1988.12.21
申请人 SGS THOMSON MICROELETTRONICA SPA 发明人 DANIIRO RE
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/06;H01L27/092 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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