| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FILM FORMING BY MICROWAVE PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02138477(A) |
申请公布日期 |
1990.05.28 |
| 申请号 |
JP19890180359 |
申请日期 |
1989.07.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TOKIKUCHI KATSUMI;SAKUMICHI KUNIYUKI;SUZUKI KEIZO;NINOMIYA TAKESHI |
| 分类号 |
C23C16/50;B01J19/08;C23C16/27;C23C16/48;C23C16/511 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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