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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02138751(A) 申请公布日期 1990.05.28
申请号 JP19890026012 申请日期 1989.02.02
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKANO HIROBUMI
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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