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发明名称 MANUFACTURE OF MIS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02138746(A) 申请公布日期 1990.05.28
申请号 JP19880292603 申请日期 1988.11.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIZUTANI KAZUHIRO
分类号 H01L21/336;H01L21/265;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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