发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02138750(A) |
申请公布日期 |
1990.05.28 |
申请号 |
JP19880325455 |
申请日期 |
1988.12.22 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KONO YASUTAKA;SAKAI MASAYUKI |
分类号 |
H01L21/31;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/316;H01L21/338;H01L21/768;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/31 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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