发明名称 METHOD FOR FORMING MULTILAYER INTERCONNECTIONS
摘要
申请公布号 JPH02137328(A) 申请公布日期 1990.05.25
申请号 JP19880291924 申请日期 1988.11.18
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OCHIAI JUNICHI
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址
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