发明名称 |
METHOD FOR FORMING MICROSCOPIC STRUCTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02137326(A) |
申请公布日期 |
1990.05.25 |
申请号 |
JP19880291589 |
申请日期 |
1988.11.18 |
申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
OKABAYASHI HIDEKAZU;SAITO SHUICHI;NAMITA HIROMITSU |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/20;H01L21/263 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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