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经营范围
发明名称
FILM THICKNESS MONITORING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02136704(A)
申请公布日期
1990.05.25
申请号
JP19880291165
申请日期
1988.11.17
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
KAWAMURA TATSURO;TAKAO MASATOSHI
分类号
G01B11/06;C23C14/54
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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