| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING PATTERN ON SILICON SOLID SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02137313(A) |
申请公布日期 |
1990.05.25 |
| 申请号 |
JP19880292069 |
申请日期 |
1988.11.18 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN;TAKAHAGI TAKAYUKI;ISHITANI HIKARI |
发明人 |
TAKAHAGI TAKAYUKI;ISHITANI HIKARI |
| 分类号 |
C30B29/06;C30B33/12;H01L21/027;H01L21/316;H01L21/768 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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