发明名称 METHOD FOR SORTING SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH02136760(A) 申请公布日期 1990.05.25
申请号 JP19880290744 申请日期 1988.11.17
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 YONEZAWA TOSHIHIRO
分类号 G01R31/26;G01R31/00;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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