发明名称 MANUFACTURE OF MOS FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH02137336(A) 申请公布日期 1990.05.25
申请号 JP19880291590 申请日期 1988.11.18
申请人 NEC CORP 发明人 OKABAYASHI HIDEKAZU;MOGAMI TORU;AOKI HIDEMITSU;SAITO SHUICHI;NAMITA HIROMITSU
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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