发明名称 FORMATION OF FINE PATTERN
摘要
申请公布号 JPH02137224(A) 申请公布日期 1990.05.25
申请号 JP19880290867 申请日期 1988.11.17
申请人 DAINIPPON PRINTING CO LTD 发明人 SONEHARA AKIO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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