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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH02137247(A) 申请公布日期 1990.05.25
申请号 JP19880291405 申请日期 1988.11.17
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 SANO YUICHI
分类号 H01L23/52;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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